精密测量仪器
光学测量系统
光学非接触测量设备，用于表面形貌分析和粗糙度检测。
测试设备表面质量、粗糙度
产品概述
光学测量系统利用光学干涉、共聚焦等技术实现非接触式表面形貌和粗糙度测量。具有不损伤样品、分辨率高的特点，适用于精密加工表面质量评估和微纳结构测量。
功能特点
表面粗糙度
Ra、Rz 等参数测量
形貌分析
三维表面形貌重建
白光干涉
纳米级垂直分辨率
共聚焦
高横向分辨率成像
自动分析
自动化参数计算和报告
核心优势
1
非接触式测量
2
纳米级分辨率
3
三维形貌重建
典型应用场景
精密加工表面粗糙度检测
半导体晶圆表面形貌分析
技术规格
| 垂直分辨率 | 0.1 nm (干涉) |
| 横向分辨率 | 0.5 μm |
| 测量范围 | 最大 10×10 mm |
| 标准 | ISO 25178 |
常见问题
光学测量与接触式测量有什么区别？
光学测量非接触、不损伤样品、速度快，适合软材料和微结构；接触式测量精度稳定，适合标准化检测。